“老板？您怎么来了？”
【北辰精密】，韩文韬昨天晚上抽空看了【北辰科技】手机业务的发展。
也看到【北辰半导体】芯片研发的情况，以及晶圆厂生产情况。
看到【北辰半导体】晶圆厂的光刻机，已经追赶上90nm了？
便抽时间来【北辰精密】看看。
足以看出，韩文韬还是很忙的。
不过，‘大飞机项目’核心航发材料零部件的研究，韩文韬进度非常快。
大部分时间是他遥遥领先研究进度。
团队跟在他后面消化。
时间安排上，他还是很自由的。
更何况他是【北辰商飞公司】老板，他想休息个一天半天，还不是一句话的问题？！
至于为什么，光刻机制程工艺突破，不去【北辰半导体】晶圆厂？
而是来【北辰精密】？
那是因为，光刻机项目的研究，主要就是【北辰精密】负责的。
‘前沿科学实验室’也负责解决‘多重曝光’等一些技术。
只不过，目前光刻机还有很大的发展空间，制程工艺远远没达到瓶颈，多重曝光技术并不受重视。
其他公司在‘多重曝光技术’领域已经有一些研究！
却没怎么深入。
‘前沿科学实验室’的研究已经最深入的，积累了大量技术和专利，抢占了这个赛道。
“我去‘光刻机项目’看看！”
韩文韬看到孙文斌，知道他现在很忙，说道：“你自己去忙吧！”
“那……好吧！”
孙文斌虽然是【北辰精密】负责人，光刻机项目虽然也在【北辰精密】旗下。
但他对光刻机是真的一点不懂。
整个项目，【北辰精密】只是负责出钱，拉了一个公司自己的团队，和沪海光电所、科学院光电所、长光所等几个光学科研院所合作研究。
他只知道‘光刻机’的进度和研究结果，其他都不知道。
这个项目，在【北辰精密】重要程度极高。
是老板亲自敲定的项目！
更是老板亲自参与的研究项目。
也不需要孙文斌太关注。
目前，随着【北辰商飞公司】大飞机项目完成设计和验证工作，可以说正式启动。
整个大飞机项目涉及到众多零部件……以及众多制造和加工零部件的高精尖设备：小型、大型、超大型。
很多设备都需要【北辰精密】来负责解决。
当然，也不是【北辰精密】自己全搞定，也需要整个【北辰集团】协同合作；
更需要国内众多科研院所、官方企业一起合作解决。
孙文斌现在可忙得很！
“老板！”
“韩教授！”
“韩董！”
“韩教授～”
【北辰精密】光刻机研发大楼。
一整栋楼9层，全部都属于光刻机研发团队，而且保密和安保是整个锦湖北辰集团总部，最高的单位之一！
韩文韬过来，光刻机研发团队许多人，都主动和他打招呼。
整个光刻机研发团队一开始来到蜀汉市，来到锦湖这边……就是由韩文韬接待的。
有一段时间也一起研究。
对韩文韬也很熟悉！
“韩教授你来了！”
“哈哈哈～是不是知道我们在ArF准分子激光器、EUV极紫外光激光器，有巨大突破了？忍不住过来看看？”
知道韩文韬来了。
沪海光电所、科院光电所、长光所，几个负责研究光刻机项目的负责人都过来——炫耀！
邀功！
其实大家都知道，韩文韬很忙！
大家都是搞研究的，还和韩文韬一起工作过一段时间。
无论是听说，还是切身感受，都知道韩文韬的科研能力有多强。
很清楚，韩文韬这样的科研能力，必然有很多项目需要他。
韩文韬此次过来，必然是知道光刻机项目有所突破，所以过来看看。
这点，几个负责人也很开心，毕竟他们是拿出了100%的努力和专注。
终于将光刻机核心的技术，啃下来了！！！
这对于国内半导体、芯片生产制造，有重大的历史性意义！
韩文韬看着几个项目负责人，笑着说道：“是啊，我们看公司汇总过来的信息，知道大家已经解决ArF准分子激光器以及物镜系统，帮助晶圆厂那边实现90nm工艺生产，所以我过来看看！”
整个光刻机项目立项的时候。
韩文韬就说了两个研究目标：
短期目标，将目前光刻机使用的i-line的365nm光源，升级成ArF（氟化氩）193nm光源，可以实现90nm-7nm，多重曝光后可实现5nm工艺！
长期目标，当然是EUV极紫外13.5nm?光源的光刻机，可以实现7nm-2nm制程工艺的生产。
进度还是很快的。
2年时间就解决ArF准分子激光器、物镜系统、工作台……以及整个光刻机研究。
哪怕韩文韬有出手帮忙，光刻机研究团队的这个进度也非常快了。
韩文韬并没有用【原子重组】的能力帮太多，更多就是提供研究方向和思路。
没有真正帮忙解决问题。
更多是让团队自己去研究！
因为光刻机项目，其实并不着急，目前整个芯片、半导体……还无关紧要。
或者说：东大和米帝之间，还没有什么摩擦。
先进的芯片生产，可以交给台电代工。
慢慢追就行！
主要是把EUV光刻机的专利抢注。
抢下一代光刻机技术！
“说起来，光刻机项目能这么快突突，还是韩教授你的研究成果，起到了决定性的作用！”
“确实，在光源和激光器方面，【北辰科技】那边大尺寸金刚石散热片，起到巨大作用！”
“有【北辰科技】大尺寸金刚石散热片，我们也是直接力大砖飞，加大激光器功率，实现了EUV光源激发……”
“目前的问题，就是提高：稳定性和精度！”
“还有物镜系统……EUV光源太娇气、太脆弱，对物镜系统要求太高了！！”
这里就要说一下，【北辰科技】的人造金刚石项目的研究，是一直都在继续的。
韩文韬虽然没有继续研究。
但整个人造金刚石项目，无论是hpht (高温高压法)，还是cVd (化学气相沉积法)。
【北辰科技】都有投入巨资。
有近千人的研究团队在研究。
毕竟，整个人造金刚石人项目，可是【北辰科技】最赚钱的项目。
哪怕现在【北辰科技】人造金刚石材料，已经开始降价。
可降价后，采购订单反而更多了。
每年2000亿的营收，一点没少！
订单反倒是更多了！
之前，【北辰科技】更多产品，是hpht (高温高压法)研究成果。
现在，cVd (化学气相沉积法)已经取得巨大突破，大尺寸的人造金刚石已经生产出来了。
最大已经做到3英寸单晶和6英寸多晶金刚石热沉片！！
这种大尺寸的人造金刚石，无论单晶还是多晶片，几乎全部被军部采购完。
也就是【北辰精密】和【北辰科技】是兄弟公司，否则都拿不到这种大尺寸人造金刚石。
哪怕【北辰精密】要这种大尺寸人造金刚石，所以流向、去向、全部要做登记。
足以看出，这种大尺寸人造金刚石有多重要！
完全就是军用管控物资！
只有军部自己知道……用在军事领域，特别是军事、航天、航空领域有多强！
【北辰精密】就是用这种大尺寸人造金刚石散热，将激光器功率强行提升上来。
不仅仅解决了：193nmArF准分子激光器，将晶圆厂光刻机完成升级改造，实现90nm制程工艺自产！
193nmArF准分子激光器解决后，后续90nm-7nm，都可以自己研究。
即便是EUV13.5nm?极紫外光源，激光器都强行实验过……只不过是力大砖飞，强行弄出来的！
根本控制不住。
不够稳定、不够精准！