張揚走到兩人面前。
兩位技術泰斗轉頭看了過來。
“張總？您怎麼半夜過來了？”梁博士看到張揚明顯一愣。
“前線打仗，我這個送糧草的，哪能在後面睡大覺。”
張揚走到測試台前，掃了眼屏幕上密密麻麻的報錯代碼。
“孫老，梁老，卡在哪兒了？”
孫老嘆了口氣，把圖紙攤到桌面上。
“張總，咱們自主研制的這台ArF準分子激光器，前面的三百九十九次試錯都走過來了，惰性氣體純化也做到了極限。”
“現在卡在最後一道坎。”
孫老指向圖紙上的核心光路區。
“想達到光刻機需要的高功率曝光標準，脈沖能量必須上去，可能量一上去，衰減度就壓不住，剛才的測試，波動幅度達到百分之一。”
“百分之一不行。”梁博士接過話，“阿斯麥要求控制在百分之零點五以內，否則刻出的電路紋路全是毛邊。”
“按梁博士說的，提高氣體純度呢？”張揚看向孫老。
“功率能上去，可鏡組燒蝕的風險也會大增。”孫老指著圖紙，滿臉心疼，“這套高精度鏡片，工藝水平相當于蔡司同級產品，造價兩千多萬，真燒了，幾分鐘就能報廢。”
張揚沒有絲毫猶豫猶豫，想要搞研發，哪里能舍不得錢。
“孫老，別把兩千萬放在心上。”
他看著這位老科研工作者。
“揚天產業基金批給你們的研發額度沒有上限，別說報廢一套鏡組，就算今晚燒掉十套，只要能摸到臨界點，就算賺了。”
孫老听到這話眼眶發紅。
他干了一輩子科研，從前為了幾萬元項目經費都要向上級打報告，材料也得掰著手指頭計算著用。
如今遇上這麼一個不把錢當回事的老板，壓在心里的顧慮終于徹底。
“好！”
孫老咬了咬牙。
“既然張總發話，今天就放開手腳干一場，惰性氣體濃度上調零點二！”
幾名操作工程師精神振作，迅速在控制面板上輸入指令。
“氣體濃度調整完成！”
“高壓放電腔預熱完成！”
“光學諧振腔校準進入最後階段！”
測試靶區的氣氛凝重的快要溢出來。
所有人隔著防爆玻璃，盯住里面那台金屬設備。
“啟動第四百次脈沖測試！”梁博士喊道。
孫老親自推上主控台的紅色電閘。
高壓放電聲在靶區內響起，真空腔體里迸出肉眼不能直視的強光。
“脈沖打出來了！”一名工程師攥住雙拳，驚呼出聲。
電腦屏幕上的數據不斷滾動，所有人的視線都落在代表能量衰減度的折線圖上。
折線劇烈跳動，直朝紅色警戒區逼近。
“穩住……穩住啊！”
梁博士雙手撐住桌面，額頭上滿是汗珠。
高頻脈沖還在持續輸出。
一秒。
兩秒。
五秒過去，防爆玻璃後的設備沒有任何異響，鏡組也沒有發出過熱報警。
代表衰減度的折線慢慢平穩，壓在低位線上。
操作台前的工程師站起身，聲音嘶啞。
“孫老，梁博士，測試通過！”
“193納米ArF準分子激光發生器，持續發射高能量脈沖超過一萬次！”
“能量衰減度控制在百分之零點三以內！”
車間里一陣寂靜。
數秒後，歡呼聲幾乎沖破棚頂。
梁博士扯下打印機剛吐出的測試報告，大步來到張揚面前。
“張總！”
他把報告拍在桌上，眼底流露著壓不住興奮。
“百分之零點三的衰減度！咱們超過了阿斯麥原廠標準！”梁博士抓住張揚的胳膊。
“張總，咱們自己的心髒，跳起來了！”
孫老摘下眼鏡，用手背擦去眼角的淚水。
干了一輩子的硬核科技攻關，受了海外壟斷那麼多年壓制，今天總算等到了國產替代的亮光。
這場勝利不只是技術上的突破，也意味著封鎖的鐵幕被砸開了一道口子。
張揚拿起那份還帶著余溫的報告，拍了拍梁博士的肩膀。
“梁老、孫老，各位工程師，辛苦了。”
“既然心髒造出來了，就別讓它留在測試台上空轉。”
張揚轉身看向旁邊待命的設備組。
“把改好的底座工件台推過來，接上光源。”梁博士吸了口氣，眼里的斗志重新燃起。
“設備組听令，開始對接激光發生器！”
各項指令有序下達。
工件台被推入預定軌道，與新造的激光器完成物理和數據連接。
一名工程師捧著防靜電密封盒快步趕來。
里面裝著首批采用國產工藝制備的八英寸 片，緊接著 片被送入了曝光工位。
密封艙門合攏，設備內部亮起紅光，機械臂高速運轉起來。
梁博士走到操控台前，彎腰盯著高倍取景器屏幕。
“張總，第一道電路紋路開始刻蝕了。”
梁博士彎著腰，雙眼盯住高倍取景器屏幕。
張揚走到他身邊，視線落在顯示器上，為了能多了解一些半導體方面的產業模式，這段時間他可是沒少惡補相關知識。
要知道他的記憶力可是堪比過目不忘的。
“光路曝光的精度能壓住嗎？”
“目前各項參數都在警戒線內。”梁博士雙手撐著操控台。
“多重曝光的對準偏差呢？”
“控制在兩納米以內。”梁博士答道。
孫老站在一旁，兩只手絞在一起。
“這台機器的心髒，是咱們自己造的準分子激光器，這可是頭回真刀真槍上陣。”。
張揚拍了拍他的肩膀。
“孫老，放心，前幾片就算廢了也沒事，只當給設備磨合。”
“廢不了！”
梁博士大聲道，手指點向屏幕上穩定推進的進度條。
“伺服電機的底層代碼是我們重寫的，雙工件台的移動平順度比原廠還高半個層級，張總，您看邊緣的平滑度。”
張揚順著他指的方向看去。
微觀圖像滿是噪點，電路溝道的輪廓已經露了出來。
“頭一道曝光只要不出問題，後面的多層堆疊就能順著往下做。”梁博士長長吐了口氣。
張揚點頭，“那就按這個節奏穩扎穩打，後面的流程，全權交給您調度。”