无尘车间里常年恒温,几乎察觉不到时间的流逝。
数十个日夜过去,龙芯联合实验室的封闭攻关终于走到了出片环节。
洁净间外,张扬穿着全套防静电服,站在宽大的观察窗前。
窗内正在进行最后一道精细化学机械抛光工序。
大型抛光机低声运转。
“清洗液浓度确认完毕。”
“抛光垫压力参数正常。”
两名测试工程师先后报出数据。
梁博士守在机器旁,“启动末道超纯水清洗程序。”
机械臂平稳运转,高压喷嘴喷出的水流化成细密水雾。
几分钟后,机器指示灯由红转绿。
首批八英寸晶圆沿着产线送出,稳稳落入特制承载盒。
银灰色硅片映着车间顶部的冷光,透出规整而利落的工业质感。
观察窗外,张扬被现场的气氛感染,也变得十分紧张。
“出片了!”孙老大喊一声。
“快,送电子显微镜测试台!”梁博士大步赶到承载盒前。
他亲手捧起盒子,动作轻得不能再轻,脚下却走得飞快。
众人跟着进入旁边的无尘检测室。
晶圆被放上高倍电子显微镜的真空载物台。
“接通成像系统。”
墙上的显示屏起,画面很快变得清晰。
纳米级沟道纵横交错,晶体管单元排列成一片规整的微观阵列,层层结构彼此咬合。
“张总,您看这处门电路结构。”梁博士指向屏幕上放大的区域。
张扬仔细看了几秒,“金属层沉积得很饱满。”
“没有越界,也没有模糊毛边。”梁博士的手指控制不住地颤抖。
他扭头看向负责测量的工程师。
“测量特征尺寸,马上!”
工程师十指飞快敲击键盘,调出标尺工具,卡在一条沟道两端。
“报告梁总,特征尺寸落在二十八纳米!”
他盯着测量结果,又核对了一遍。
“偏差在容差范围内!”
检测室里响起一片吸气声。
“好!太好了!”孙老一巴掌拍在桌上。
“先别急着高兴。”
梁博士压着翻涌的情绪,抬手指向旁边的综合探针台。
“形貌过关,只能算走完一半,上探针台,还得测真实良率。”
晶圆被平稳转移到探针测试台。
成百上千根肉眼难辨的微型探针逐步落下,准确接触硅片上的测试焊盘。
实验室里只剩仪器运行时的细微嗡鸣。
“总计一千两百颗独立芯片。”测试工程师盯着主控屏幕,“开始通电测试。”
电流注入后,屏幕上的晶圆阵列图陆续亮起光点。
绿色代表通电达标,红色代表电路死锁或漏电超标。
红绿两色不断向整张阵列图铺开。
张扬站在最后方,安静看着这幅决定成败的图景。
“一号测试区,漏电流在设计规范内。”
“驱动电流输出平稳。”
“阈值电压符合预期标准。”
工程师的汇报声接连响起。
十分钟后,全盘扫描结束。
屏幕右上角的综合数据停止。
“最终数据出来了!”测试工程师抬起头。
孙老往前抢了半步。“良率多少?”
“百分之四十一点七!”
旁边一名年轻助理工程师听完,忍不住叹气。
“才百分之四十多啊。”
他看着屏幕上的红色光点,语气难掩失落。
“原本还想着能冲到百分之六十以上,现在连一半都没到,根本没法大规模商业化量产。”
梁博士的脸当场沉了下来。
他转过身,指着那名年轻工程师开骂。
“你懂个屁!”
“你当这是菜市场买白菜,想要多少斤就能有多少斤?”
年轻工程师顿时被骂得缩起脖子。
梁博士指向探针台上的晶圆,“这是咱们龙国头一枚彻底摆脱外资授权,从底层代码到光刻机核心光源都由自己研发的先进制程芯片!”
“没有原厂数据支撑!”
“没有海外技术顾问指导!”
“咱们一路摸黑,硬是从这片雷区里趟过来的!”
梁博士转身看向周围的科研人员。
“头回流片,良率能过百分之四十,这就叫工业奇迹!”
“当年台积电上新制程,首批流片的良率连百分之十都不到,出来的全是一堆废硅渣!”
张扬走上前,站在梁博士身边。
“梁老说得对。”
他的视线从在场众人身上掠过。
“良率超过四成,说明咱们已经跨过理论验证的门槛,光路设计和伺服算法都能走通,这条路没有错。”
“方向对了,往后做良率爬坡,拼的就是时间和资金。”
张扬抬手指向那块泛着光泽的晶圆。
“这百分之四十一点七,已经把老美那层技术封锁砸开了一道口子!”
一阵掌声响彻实验室。
孙老抹了把眼角,也跟着使劲鼓掌。
张扬拿出手机,点开通讯录。
“这么有纪念意义的时刻,也该让咱们的盟友高兴高兴。”
他拨通雷布斯的加密视频电话。
铃声才响两下,屏幕里便出现雷布斯那张满是疲态的脸。
视频背景里,还能听见大米高管汇报营销数据的声音。
“老弟,你这时候找我,是不是亦庄那边有准信了?”雷布斯开门见山。
“雷哥,看看这是什么。”
张扬翻转手机镜头,对准探针台上的八英寸晶圆。
镜头靠近后,晶圆表面的光晕清楚呈现在屏幕里。
视频那头的汇报声突然停了。
雷布斯从椅子上站起来,整张脸都快贴到屏幕上。
“这……流片成功了?”
“首批自主流片的晶圆。”张扬把镜头切回自己,“显微测试已经做完。”
“特征尺寸多少?良率怎么样?”雷布斯一口气追问。
“门电路落在二十八纳米节点,初测良率百分之四十一点七。”
“卧槽!”
雷布斯当场爆了句粗口。
“二十八纳米!还真让你给搞出来了!良率还过了百分之四十!”
他在办公室里来回走了几趟,根本停不下来。
“老弟,你清不清楚这几天高通和北美那边有多嚣张?”
“他们天天从各种渠道放风,说龙国企业离开他们的授权,连半导体废件都造不出来。”
雷布斯用力挥了下拳头。
“这块晶圆来得太及时了,简直是天降神兵!”
“雷哥,这批芯片还不能直接拿去大规模量产,不过封装出来做工程测试机足够了。”张扬提醒了一句。
“我懂!”
雷布斯双眼发亮。
“只要能点亮,只要系统能跑通,我就敢拿到发布会上炫技!”
“我要亲手拿着装了自主芯片的工程机跑分,让全世界都看看,咱们不用他们施舍技术,也能造出自己的核心芯片!”
“这批下线的芯片,你必须给大米留一半!”
“没问题。”张扬笑着答应。
“我让秘书订机票,下午亲自飞京都!”
雷布斯那边已经开始安排。
“亦庄的安保给我拉满,那可是咱们的命根子!”
“放心吧雷哥,飞鸟都进不了三号车间。”
视频通话挂断后,张扬转头看向梁博士。
“梁老,安排封装测试,先把这四成良品切出来。”
“已经安排下去了。”梁博士点头。
一名助理工程师捧着特制的防静电晶圆包装盒走了过来。
首块通过良率初测的晶圆已经安放在盒中,助理来到张扬面前,双手递了过去。
包装盒分量很轻,落到他手里,却压得人不敢有半点疏忽。
前世外资卡住脖子、断供芯片的屈辱画面掠过脑海。
活过一世,他终于亲手将主动权握在了龙国人手里。
张扬低头抚过防静电晶圆包装盒,轻声道:
“代号,惊蛰。”