老王转身去翻药柜,拿出一瓶葡萄糖,扎进沈初音手背,针头推进去的时候她眉头皱了一下,人却没醒。
陆征骁坐在床边,握着她没扎针的那只手,手指头摩挲她手背,小心避开绷带。
卫生队里就剩输液瓶滴答滴答的声音。
霍星野靠在门框上,捂着肩膀,棉衣上血渗得更大了。
“陆团长,初音姐刚才说的。”
“我听见了。”
陆征骁低着头,盯着沈初音的脸。
“她说流片厂的离子注入机有问题。”
“那咱现在。”
“等她醒了,把话说清楚。”
陆征骁站起来,转身往外走。
“你去包肩膀,别杵在这儿碍事。”
霍星野咧嘴笑,转身出去了。
陆征骁走到门口,冲外头喊。
“老陈。”
陈向东从走廊尽头跑过来,手里还拿着半张烧焦的记录本。
“陆团长。”
“把流片厂之前发来的设备参数表拿过来。”
“设备参数表。”
陈向东愣了一下。
“陆团长,那表格在预研室,被烧得只剩半张了。”
“半张也拿来。”
“是。”
陈向东转身往预研室跑。
陆征骁回到床边,沈初音脸烧得通红,嘴唇干裂,眉头紧皱,像在跟谁较劲。
输液瓶里的液体滴了大半,她眼睛突然睁开一条缝,瞳孔涣散,盯着天花板。
“陆征骁。”
“我在。”
陆征骁凑过去,握住她的手。
“媳妇,你醒了。”
“流片厂的事,你们。”
她挣扎着要坐起来,身子刚抬起来一点,又软了,人往旁边栽。
陆征骁伸手捞住她,把人按回床上。
“你别动,老陈去拿设备参数表了。”
“拿来了吗。”
“马上就到。”
沈初音闭上眼睛,喘了几口气,眼泪顺着眼角往下滴。
“我得看那张表,威尔逊埋的雷就在那上头。”
陆征骁拿手绢给她擦眼泪,手绢碰到她脸颊,烫得厉害。
“媳妇,你别急,咱一步一步来。”
“来不及了。”
沈初音睁开眼睛,眼睛里全是血丝。
“敌人最阴险的地方,就是让你以为自己赢了,等装机那天再把你钉死在耻辱柱上。”
陆征骁喉结动了一下,没接话。
脚步声在走廊里响,陈向东跑进来,手里拿着半张烧焦的纸。
“陆团长,找着了。”
沈初音看见那张纸,眼睛一亮。
“拿过来。”
陈向东把纸递给她,纸边烧得焦黑,字迹被烟熏得模糊,可表格还能看清大半。
沈初音撑着床板坐起来,手抖得厉害,陆征骁伸手扶她后背,她没推开,低着头盯着那张纸。
纸上密密麻麻全是数字,光刻机型号、曝光波长、分辨率、离子注入能量,每一栏都标得清清楚楚。
她手指头在纸上划,划到光刻机曝光波长那一栏,停下了。
那一栏写着:365纳米,I线光刻。
她盯着那个数字,眼睛眯了一下。
“就是这儿。”
陈向东凑过来。
“沈总工,这个数字有啥问题。”
“咱们芯片的线宽要求是多少。”
“零点八微米。”
“零点八微米的线宽,用365纳米的I线光刻能做出来吗。”
陈向东愣了一下,脸色刷的白了。
“做不出来,得用248纳米的深紫外光刻才能达标。”
“可这张表上,流片厂承诺的是365纳米。”
沈初音把纸递给陈向东。
“要么他们设备不达标,要么就是故意隐瞒参数,准备在流片时做手脚。”
陈向东接过纸,手抖得厉害。
“沈总工,那咱这批样片。”
“送过去也是废的。”
沈初音靠回床上,闭上眼睛。
“他们会让芯片表面看着合格,可一装机就失效,彻底毁掉咱们厂的信誉。”
“那现在怎么办。”陆征骁脸色沉下来。
“去流片厂,当面核实设备参数。”
沈初音睁开眼睛,盯着陆征骁。
“设备参数是工业的生命线,差一个纳米,差的就是整个产品的命运。”
“你这样,去不了。”陆征骁握着她的手。
“去得了。”
沈初音挣扎着要下床,脚刚碰到地,腿一软,人往前栽,被陆征骁捞住。
“你这是找死。”
“找死也得去。”
她抓住陆征骁的衣领,眼睛盯着他,眼泪顺着脸往下流。
“我可以倒下,但共和国的工业脊梁不能被人暗算着打断。”
陆征骁盯着她,喉结动了好几下。
“老陈,你去流片厂核实设备参数。”
“是。”
陈向东拿着那张烧焦的纸,转身往外跑。
沈初音被陆征骁按回床上,她闭上眼睛,呼吸急促,手指抠着床单。
卫生队里安静下来,就剩输液瓶滴答滴答的声音。
陆征骁坐在床边,握着她的手,手指头摩挲她手背。
“媳妇,你睡会儿。”
“睡不着。”
沈初音睁开眼睛,眼睛盯着天花板。
“我脑子里全是那张表,那个数字,我得想清楚他们到底在哪个环节埋了雷。”
“你现在高烧四十度,啥都别想。”
“不想不行。”
她转过头,看着陆征骁。
“我昏过去之前,林书成说的那句话,你还记得吗。”
“记得,他说威尔逊在流片厂埋了钉子。”
“不光是钉子。”
沈初音咬着嘴唇,眼睛盯着天花板。
“我之前跟流片厂对接的时候,他们报价特别低,交期承诺得特别爽快,还对咱们的技术参数追问得特别详细。”
“你觉得有问题。”
“当时没觉得,现在想想,这几件事连起来,就是个局。”
她闭上眼睛,眼泪从眼角滑下来。
“他们从一开始就没打算让咱们做出能用的芯片,表面上配合,实际上是在等咱们往陷阱里跳。”
陆征骁沉默了两秒。
“那你觉得,内鬼是谁。”
“不知道,但肯定是能掌握核心工艺参数的人,至少得是副厂长级别。”
沈初音睁开眼睛,盯着陆征骁。
“你让老莫盯紧流片厂那边,别让他们跑了。”
“已经在盯了。”
陆征骁站起来,转身往外走。
“你睡会儿,我去联系老莫。”
“等等。”
沈初音叫住他。
“你让老陈核实的时候,别光问设备型号,得问具体参数,波长、功率、校准时间,一个都不能少。”
“好。”
陆征骁走到门口,回头看了她一眼。
“你这次要是再昏过去,我就把你绑床上,谁来都不放人。”
沈初音咧嘴笑,笑得眼泪都出来了。
“行,你绑吧。”
陆征骁转身出去了。
卫生队里又剩下沈初音一个人。
她盯着天花板,脑子里过那张烧焦的参数表。
光刻机曝光波长,365纳米。
离子注入能量,标注的是标准值。
可标准值是哪个标准,国标还是厂标,表上没写清楚。
她闭上眼睛,手指头在床单上划,像在写字。
一个数字一个数字往下推,推到离子注入剂量那一栏,手指头停了。
如果内鬼真的在掺杂环节做手脚,那他一定会在离子注入剂量上动手脚,表面数据合格,可实际剂量偏差,芯片装机就会失效。
她睁开眼睛,眼睛盯着天花板,嗓子哑得厉害。
“这个数字,就是威尔逊埋下的定时炸弹。”
脚步声在走廊里响,霍星野跑进来,肩膀包了绷带,脸上全是汗。
“初音姐,陈工打电话回来了。”
沈初音猛地坐起来,身子晃了一下,差点栽下床。
“他说啥了。”
“他给流片厂打电话求证,对方支支吾吾,最后承认他们的深紫外光刻机正在检修。”
霍星野走到床边,声音低下来。
“如果咱们厂坚持用248纳米工艺,交期得往后推三个月。”
沈初音盯着霍星野,脸色白得像纸。
“三个月。”
“对,要么接受365纳米的残次品,要么放弃这次流片机会。”
“初音姐,这是逼咱们走绝路。”霍星野咬着牙。